高分辨率,高精度角度编码器(2)

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精度测量,是测角技术领域的一个难点,也因此成为国内外测角技术研究的一个热点。 国内外角度测量的研究现状

1 机械测角法

测角技术中研究最早的是机械式测角法,主要以多齿分度盘为代表,它是一种基于机械分度定位原理的圆度分度技术。最早的多齿分度盘的雏形出现在20世纪20年代,完整的圆分度器件是由美国Gate公司研制成功的,并于1960年获得该技术专利,其分度为士o.25”。前苏联考纳斯机床厂研制的YLUI-05型角度测量仪最小分度间隔为15”,测量误差不大于O.1”。由于多齿分度盘的齿数不能无限增加,因此细分受到限制,由此而出现了差动细分方法。原理上,差动细分技术可以设计出更多层的多齿分度台,但是,由于在实际加工时,各层之间的同轴度难以保证,齿盘起落机构复杂等原因而难以实现。上世纪六、七十年代,我国多齿分度装置的研制工作普遍展开,中国计量科学研究院实验工厂研制的差动细分多齿分度盘,其任意角度间隔的分度误差不大于0.2”。陕西机械学院研制的弹性多齿差动分度台,其分度误差不大于0.17”。

2 电磁测角法

电磁测角法是最近几十年发展起来的测角技术,主要应用于角度的进一步细分,使分度和测量范围增大,提高仪器的分辨率。

电磁式测角技术以圆磁栅和感应同步器为代表,圆磁栅测角法是将圆磁栅连同被测件一起旋转,利用放磁头将磁栅上的记录信号拾取出来进行处理。按信号拾取的方式不同,放磁头可以分为静态磁头和动态磁头两种。静态时准确度往往难以提高。动态时降低了对录磁准确度的要求,可以获得较高的分度准确度。

感应同步器测角法是一种电磁感应位置检测元件,它是美国Farrand公司根据美国空军提出的要求而发明的,根据正弦、余弦两绕组的电压和相位进行比较,利用电磁感应将位移量转化成电信号,并以数字脉冲形式输出基准量。由于感应同步器在工作时可以多个节距同时起作用,具有“平均效应’’,因而具有较高的分度准确度。

无论是机械式还是电磁式测角法,它们的主要缺点大多为手工测量,不容易实现自动化,而且测量精度也受到机械加工精度的限制。

3光学测角法

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