拉晶工艺指导书

拉 晶 工 艺 指 导 书

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一、有关说明 （一）、

晶体直径

坩埚转动（连续可调） 液压缸行程 加热功率 - 加热电压 - 加热电流 熔化温度

主炉室真空泵抽速 - 滑阀泵(主泵) - 旋片泵(副泵) 冷态空炉子的极限真空度 冷态炉子的泄漏率（压升法）允许工作正压

不带泵和走道的空间要求 总设备高度 外围设施

- 冷却水消耗量 - 冷却水压力

绝对压力 冷却水回水压力 - 绝对压力

- 冷却水进水温度

1

最大 最大 最大 大约 大约 最大 最小 最小

最大

最大 最小

最大

1 - 30 rpm

140 kW

0 – 60 Volt 2,300 Amp 1,600 °C

70 l/s 15 l/s

≤ 3 Pa

0.3 Pa/min 20 m3/min 1.5 kg/cm2 2.0 kg/c 1.5 kg/cm2

20 °C 25 °C

冷却水质量 - pH值 - 电阻 - 硬度 - Fe+离子 - Cl-离子

7 - 9

> 104-106 Ohm. cm

< 8 ° d 1 < 0.1 ppm < 10 ppm

备注：冷却水必须过滤，以便过滤脏物和有机悬浮颗粒，否则可能堵塞回路和产生局部沉淀。详细 信息请参阅PW 800 943 NE 或 ND。

氩气消耗

- 氩气压力，绝对值 - 氩气纯度 电源 - 频率 - 容量 - 保险

最大

100 Sl/min

最大 2.0 kg/cm2

＞99.999％ 380 V + 10%, 50 Hz 大约 190 kVA 3 x 500 Amp.

备注：建议用户在厂房的电网配置中为每台设备提供单独的配电柜（盘），配电柜内至少有两个空气开关（断路器），一个用于加热电源与电网的隔离，一个用于控制柜与电网的隔离。

（二）、产品质量要求

根据客户要求进行生产。

如：1、电阻率控制范围：0.5~6Ω·cm。 2、无位错缺陷即小于等于100/cm2。

3、氧、碳含量要求：O含量≤1.0×1018cm-3、C含量≤5.0×1016cm-3

（三）、产品在生产周转中的标号：

1、产品牌号标示参照国家有关标准：

CZ—Si—P(B)—<100>为直拉法制造的P型单晶硅，掺杂剂为硼，晶向为100

（四）、工具

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序类别 号 1 工具 名称 用途 生产记录 生产数据记录 热系统周转工具 小头、提杂周转工具 产品周转工具 石墨件工具 石墨件工具 埚底料周转工具 清炉工具 清炉工具 石墨件清理工具 清炉\\石墨件清理工具 拉晶工具 拉晶工具 拉晶工具 拉晶工具 装料用具 拉晶工具 拉晶用具 清炉工具 清炉工具 清炉工具 装炉用 清炉用 装料 装料 装料 装料 拉晶车间专用 清炉用具 清炉用具 清炉用具 清理用 清理用 备注 通用 企业标准 自制 自制 自制 设备配送 自制 不锈钢盆子 通用 自制 通用(金刚锉) 通用(粗\\细) 设备提供商定 通用 通用(克丝、斜口) 开口、活动、内六方 定制 通用 塑料制品 通用 通用 通用 纯棉制品 纯棉制品 医用塑料 医用 医用 医用 胶底 耐高温、不掉渣 纯棉 日化用品 分析纯 分析纯 2 3 碳素笔 记录本 热系统周转车 接晶盘 接晶筒 托杆丁字扳手 导六筒挂钩 埚底料周转盆 毛刷 副室清理长杆 锉子 沙纸 测径仪 镊子 钳子 扳手 装料/周转料车 剪子 耔晶存放盒 角磨机 金刚石磨片 手枪钻 汗布手套 布线手套 薄膜手套 防尘服 口罩 帽子 劳保 工作鞋 石棉手套 毛巾或棉布 肥皂、洗衣粉等 辅材 无水乙醇 丙酮 （五）化学试剂说明

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1、无水乙醇

规格用量：用分析纯，广泛用于生产中的各个环节，用量相对较大，可以购置大瓶装。

危害程度：（1）急性中毒多发生于口服，严重时可导致呼吸停止；

（2）慢性影响:在生产中长期接触高浓度本品可导致轻微头痛、头晕、疲乏、恶心等症状。

防护措施：穿戴好工作服、口罩、手套即可，工作常说严禁烟火。 2、丙酮

规格用量：用分析纯，主要用作出去设备、部件附着的油污，但不能直接用来处理橡胶件，用量相对较小。

危害程度：急性中毒主要表现为对中枢神经系统的麻醉作用，长期接触该品会出现眩晕、乏力等症状；具有腐蚀性，皮肤长期接触可导致皮炎。

防护措施：穿戴好工作服、口罩、手套即可，避免长期反复接触，工作常说严禁烟火。 3、防护通则

坚持个人卫生是防护个人身体健康的一个有效手段，应常洗手；不慎溅入眼睛，及时用清水冲洗，如有不适就医。

（六）设备操作按键说明 单晶炉生长控制柜说明

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