拉晶工艺指导书(2)

序号 1 2 设备名称型号 键名 急停 复位 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 其它 加热器过流后必须将EUROTHERM复位后再加功率 过流 过流指示灯 不可操作 预备/停止 控制液压工作站启动/停止 旋钮 斜荷 释放液压工作站内荷载 埚升启动 控制自动埚升电源启动/关闭 埚快升 控制埚快速升 埚快降 控制埚快速降 副室升 控制单晶炉副室升起 炉盖升 控制单晶炉炉盖升起 同副室互锁，副室到位后有效 炉盖降 控制单晶炉炉盖/副室下降 炉筒升 控制单晶炉炉筒升起 炉筒降 控制单晶炉炉筒降下 电控柜 控制晶体生长控制柜启动/关 闭 真空计 控制真空计启动/关闭 主室泵 控制主室泵启动/关闭 副室泵 控制副室泵启动/关闭 加热电源 控制加热器启动/关闭 计算机 控制计算机启动/关闭 关闭计算机必须正确退出系统 主加热 开启/关闭加热器 晶转启动 开启/关闭晶转 埚转启动 开启/关闭埚转 加热电压 显示当前加热电压 加热电流 显示当前加热电流 主室泵电流 显示主室泵当前电流 真空计 显示当前炉内压力 Ar压力 说明 限制设备传动部分动作 恢复加热功率

5

二、工艺流程 （一）、工艺流程图 品 管 晶 棒 配 料 库 房 说明：

1、单晶制造部工艺流程为方块标注环形部分，即由配料工序开始，至晶棒终止14个工序构成；

2、配料工序的入口为公司库房管理部门； 3、晶棒工序的出口为公司品管部。

4、在跟工艺流程中，如果拉晶为连续工作时，在停炉到清炉完后,开始从装料重新开始，如在按要求开炉数后或长时间没有开炉时，要从煅烧开始。

收 尾 等 径 转 肩 放 肩 缩 径 煅 烧 拆清炉 装 料 抽真空 充氩气 化 料 停 炉 引 晶 （二）工序解释

1、配料

根据销售计划书之客户需求，按照生产计划进行每炉原料的配重和计算，使产品的质量参数达到预期要求；将原、辅料分发至炉前。 2、装炉

按热系统设计方案装配系统零部件，同时将多晶硅原材料、掺杂剂放入单晶炉承载原料的容器石英坩埚内。 3、抽空

启动真空泵对单晶炉抽真空，在规定时间内达到设备最低真空、压升率要求。 4、加热

给单晶炉通入氩气后通电，保持单晶炉设备真空符合拉晶要求，按档调节

6

进行加热化硅。 5、化硅

在规定加热功率下熔化硅料，温度在硅的熔点1412℃以上进行化料，将炉料全部熔化完毕，并使炉内温度趋于稳定。 6、接种

待炉内温度稳定到合适引晶的温度时，将籽晶慢慢接触熔硅液面上方，使之预热后籽晶将自动吸附熔硅液面，待光圈稳定后提升拉速，进入下一工艺流程，接种时温度尽可能的高一点。 7、引晶

根据炉内的温度，按一定的速度变化范围提升籽晶，按规定长度要求生长规定直径的细径单晶。 8、放肩

缩颈长度、细直径单晶符合要求后，降低拉速和控制温度使单晶直径向径向防线逐渐生长，并达到所需大小的尺寸直径要求。 9、转肩

在晶体直径生长到规定范围内，提高拉速使晶体向纵向方向生长，达到晶体直径在规定范围内使晶体等径生长。 10、等径

放肩符合要求后，计长清零并给定合适的过跟比，待直径趋于稳定后，投入计算机自动生长控制，晶体将在自动条件下生长到规定长度。（长度根据投料量及直径来觉得） 11、收尾

当埚内炉料剩余到一定程度之后，通过收尾控制使单晶直径缓慢变细，使至排除未错后与液面脱离。 12、停炉

根据工艺要求逐次降温，同时计算机的参数清零，停埚转，使用氩气冷却保护，待炉内发暗后停止氩气，抽真空，并记录，关闭球阀，记录压升率，给下炉开炉提供数据。 13、清炉

取出晶体，清理单晶炉设备及热系统工件的表面杂质、附着物及缝隙处的杂质、

7

附着物，经清理后设备应符合投料开炉的要求。 14、晶棒

将取出的晶棒及埚底料等送入原料间，进入后道生产工序。

三、拉晶过程 （一）、配料

1、步骤

1.1、根据生产计划、排班情况到库房领取主、辅材料，并办理出库手续。 1.2、填写领料登记表。

1.3、根据生产计划要求进行配料及编号，将原料放入“原料周转筒”内，根据生产合同下达生产指令单。

1.4、根据车间生产计划分配炉次、配料、掺杂，填写配料登记表。 1.5、使用“周转料车”派发原料、辅料至车间操作者。 2、用具

分析天平、秤（100Kg）、导电类型测试仪、电阻率测试仪、配料记录本、碳素笔、登记表、一次性薄膜手套、无尘塑料袋、滤纸、原料周转痛、周转车。 3、流程图

库房领取原料、辅料 填写领料登记表格 按生产合同进行工作 掺杂并分配每炉掺杂重量 按计划配发原辅料到工段

配料

（二）拆清炉

1、拆炉步骤

1.1、充入氩气，直到小副室门打开，取出晶棒。 1.2、检查籽晶是否符合要求。

1.3、提升炉盖并清炉内壁包括副室的挥发物并用酒精毛巾擦拭干净。 1.4、依次取出大盖和导流筒，石英坩埚、三瓣埚以及托杆待清理。 1.5、用吸尘器及毛刷清理加热器及热系统其他各部件上的挥发物等杂质。 1.6、用吸尘器及毛刷清理防爆阀门内的杂质，用带酒精的毛巾擦拭密封圈等。

8

2、装炉步骤

2.1、清理操作各工位，保持炉台工作区清洁。

2.2、将处理过的石墨热系统用“热系统周转车”运至炉台旁。

2.3、按顺序安装“炉底碳毡”、“炉底护盘”、“下保温筒”、“排气口护套”、“坩埚护套”、“电极护套”、“石墨电极”、“石墨加热器”、“石墨螺丝”，注意在“石墨电极与炉体电极、加热器与石墨电极以及加热器与石墨螺丝接触面处加一层完整无损的碳铂。

2.4、安装“中、上保温筒”。

2.5、安装“石墨托杆”，用“托杆丁字扳手”拧紧与炉底连接的石墨螺丝，用力适中。

2.6、按顺序安装“石墨埚托”以及“三瓣埚”。

2.7、用吸尘器及毛刷由里到外清除安装过程中带入炉体及石墨热系统中的粉尘以及残渣。 3、用具

塑料薄膜手套、热系统周转车、托杆丁字扳手、吸尘设备、排气口护套挂钩 4、流程图

清理炉台工位 安装电极、埚杆护套 安装炉底碳毡、炉底护盘 安装下保温筒、排气口护套 对中 安装电极、加热器、螺丝 安装托杆、埚托、三瓣埚 安装中、上保温筒

装炉

5、注意事项

5.1、必须佩戴一次性薄膜手套后方可基础清洁处理过的炉体内部及石墨热系统。

5.2、安装完三瓣埚要试转，看是否运转正常。

5.3、安装热系统时要注意热系统的对中，尽量避免因短路而造成的打火、电离，尤其是炉子的2个电极周围不能有任何杂质。

9

百度搜索“70edu”或“70教育网”即可找到本站免费阅读全部范文。收藏本站方便下次阅读，70教育网，提供经典综合文库拉晶工艺指导书(2)在线全文阅读。