拉晶工艺指导书(3)

5.4、定期要对重锤用沙纸打磨，副室上部也要清洗，检查钢丝绳有无磨损。 5.5、安装石墨电极和加热器和石墨螺丝时它们的接头面必须加一层完整无损的碳铂。

5.6、取晶体剪籽晶时尽量多留籽晶，以供下炉试温度用。

（三）装料

1、步骤

1.1、准备装炉原料及工具：周转原料筒、掺杂剂、籽晶、石英坩埚、塑料薄膜手套、棉布手套、剪刀、料车。

1.2、更换装料工作服（防尘服、手套），并用除尘设备除去身上附着的杂质、灰尘，方可接近待装料的炉台。

1.3、打开“石英坩埚”包装，检查坩埚有无裂缝、杂质、黑点、气泡等，并用手指轻弹坩埚壁听声音是否发脆，如有质量问题及时更换。

1.4、评估分析原料的整体情况，观察包装有无破损现象，区分原料的大小、破碎程度，如原料不符合要求（无清洗）应及时更换。

1.5、用“剪刀”逐一剪开原料包装袋，将已开封的原料放在炉前“装料台”上，待装料人员装完台上的原料后，再准备开封下一包原料。

1.6、装料人员在基础经过清洁处理后的炉壁、热系统及原材料前，必须先戴“汗布手套”，再戴“塑料薄膜手套”，当“塑料薄膜手套”受到污染或者破损时应及时更换。

1.7、“石英坩埚”内壁如有附着的石英残渣等杂质，需用将其清理完毕后再将其放入“三瓣埚”内。

1.8、按下大上小的方法将原料装入坩埚内，最后成“馒头”状，一些碎料可以穿插放在大料的缝隙处，不得直接将原料扔入锅内。

1.9、降埚位至下限位（即化料埚位），用“除尘设备”依次出去掉落在炉内的原料残渣。

1.10、清理“保温盖，导流筒”，按顺序安装。 1.11、安装“籽晶”。 2、用具

周转原料筒、掺杂剂、籽晶、石英坩埚、塑料薄膜手套、汗布手套、剪刀、装料台、防尘服、除尘设备、擦炉纸。

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3、流程图

准备用具 穿装料服 安装石英坩埚 评估原料 除尘、装保温盖、导流筒 降埚位到化料埚位 专人装料 开封、准备装料

装料

4、注意事项

4.1、佩戴一次性手套后，不允许接触原料以外的东西，否则更换手套。 4.2、装完料后，料与导流筒下沿保持一定距离。 4.2、装完料后，安装好导流筒后不能给埚转。

4.3、装料时,不要用力碰到石英埚,不要接触周边的物品,装料就近摆放,不要使料与料、料与埚发出撞击声。

4.4、大块料只能放在中下部，严禁放在顶部。

4.5、装完料后，放导流筒时不要转动以防碳粉掉入埚中，影响成品。 4.6、要把石英坩埚的编号记录在拉晶记录本上。

4.7、一定看好最底埚位、平口埚位、最高埚位，并做好记录。

（四）合炉、抽真空

1、步骤

1.1、启动液压电源，使液压系统预工作不少于1分钟。

1.2、旋合单晶炉炉筒，同时用沾有无水乙醇的毛巾清理接口处的结合面及橡胶密封垫，降炉筒到位。

1.3、旋合单晶炉炉盖，同时用沾有无水乙醇的毛巾清理接口处的结合面及橡胶密封垫，降炉盖到位。

1.4、旋合单晶炉室合炉，同时用沾有无水乙醇的毛巾清理接口处的结合面及橡胶密封垫，降副室到位。

1.5、用纯棉毛巾慢慢接触副室内重锤上“籽晶”，使之稳定。 1.6、将翻板阀处于开启状态，将副室门置于关闭状态。

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1.7、停止液压系统电源按钮。

1.8、对炉室进行抽真空，当真空泵处于稳定工作后，开启真空球阀；分两次缓慢开真空泵阀门，第一次略微旋开阀门约2分钟后将主阀门全部旋开，在30分钟内炉子真空度将达到设备规定要求。 2．用具

纯棉毛巾、无水乙醇 3、流程图

启动液压 合炉筒 合炉盖 合副室 抽真空 停止液压 检查挡板阀以及观察窗口 稳定重锤

合炉、抽真空

5、注意事项

5.1、合炉筒时不要撞到加热器。

5.2、当真空抽不下去时，可以开启氩气阀门向炉内通入氩气，保持10分钟后关闭氩气，继续抽真空，保持三次操作，当真空达到规定要求，进行加热。 5.3、抽真空时间在正常状况下应保持在30分钟以上。 5.4、炉内真空度在连续抽空30分钟应达到6.0Pa以下。

5.5、若在充氩气三次后，真空还是抽不下去，要与维修联系检修真空。 5.6、若观察窗如果不清楚，必须清理。

5.7、一切就绪后，要清理炉体和炉子周围的卫生。

（五）化料

1、加热 1.1、步骤

1.1.1、通入“氩气”并保持炉内压力在1300～1500Pa进行加热。

1.1.2、开启“加热电源”，调节欧陆仪/功率部分分四次调节，一小时内加至高温，化料功率根据工艺要求而定。

1.1.3、观察炉子窗口内硅熔化情况，炉内的硅颜色变化为暗红色到红色，最终呈

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现白色刺眼光芒时，此时系统加热功率达到化料的温度。

1.1.4、注意观察炉内化料情况，当出现塌料现象后，逐渐上升埚位，导流筒不能接触到硅料。

1.1.7、进行生产记录登记。 1.2、用具

碳素笔、生产记录本 1.3、流程图

启动加热电源 分次升欧陆到化料功率 观察化料情况 塌料后升埚位 通氩气

加热

1.4、注意事项

1.4.1、在料没完全塌下去时不能给埚转。 1.4.2、在料快要化完之前要提前降温。 1.4.3、在料快要化完之前尽量提杂一次。

1.4.4、化料时料一定不要沾住导流筒的下沿，否则影响正常拉晶。

2、稳定温度

2.1、步骤

2.1.1、待硅料全部化完后，即最后一块硅晶体刚熔化后，开启“埚转”为2rpm/min。 2.1.2、降功率使之达到引晶功率，同时升埚位至合适引晶埚位。

2.1.3、欧陆显示降至合适的引晶功率时，将欧陆/功率部分调至“自动/闭环”。 2.2、用具

碳素笔、生产记录本 2.3、流程图

观察炉内化料情况 料化完后稳定温度 将功率，升埚位 保持引晶温度30分 打欧陆仪闭环

稳定温度

2.4、注意事项

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2.4.1、升埚位时应密切观察炉内埚升情况，并留意埚位标尺，操作者升埚位并观察炉内情况，读埚位标尺数值配合工作。

2.4.2、根据原料状况不同，在高温有时需要保持化料功率15分钟左右，挥发杂质。

2.4.3、在清炉没动保温筒（中）的情况下，引晶的合适功率欧陆显示值可参考上炉的值。

（六）引晶及缩颈

1、下种（润晶） 1.1、步骤

1.1.1、启动“晶转”电源，转到籽晶轴，根据工艺要求给定晶转速度。 1.1.2、启动“晶降”按钮，将籽晶下降到离液面3—5mm处10分钟，进行预热。 1.1.3、当“籽晶”温度接近熔硅温度，降“籽晶”与熔硅液面约1mm停止。 1.1.4、籽晶在接近液面的适当位置处，液面熔硅将自动吸附到籽晶端面处。 1.1.5、将“晶升”至于关闭状态。

1.1.6、观察光圈变化在稳定不变的状态下，并且符合晶向要求（即光圈包圆）。 1.2、用具 碳素笔、生产记录 1.3、流程图

启动晶转调速 启动晶降 降籽晶 烘籽晶 吸附 熔硅 停晶 升/降 稳定成 晶液面 下种

1.4、注意事项

1.4.1、操作者必须在炉前密切观察成晶液面状况，并且确定合适的功率。 1.4.2、操作者应保证籽晶与熔体接触充分，合适的引晶温度特征为：籽晶和熔硅接触后，籽晶周围逐渐出现光圈，最后光圈变圆。

1.4.3、若籽晶端面是正方形，籽晶和熔硅接触的晶线变成针状，光圈圆弧内切晶线；若为圆籽晶，具有晶线且光圈始终稳定不变。 1.4.4、润晶时要求炉内的温度尽可能的高。 1.4.5、要保证此时是<100>晶向。

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